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極限壓力　 　　Pa

≤2.7×10^-4

抽氣速率   　L/s

≥80

≥600

≥1400

≥2600

≥3800

≥5600

≥10000

≥12000

≥13000

≥16000

加熱功率  　　kW

0.55

1.8

3

5

6.9

8.4

8.4

15

24

24

主泵型號

K-100

K-200T

K-300T

K-400T

K-500TD

K-600T

K-800

K-800TD

K-1000TD

K-1200

擋板

SB-100

SB-200

SB-300

SB-400

內藏式

SB-600

SB-800

內藏式

內藏式

SB-1200

高真空閥（氣、電動閥）

GF-200

GF-300

GDD-J200

GDD-J300

GDD-J400

GDD-J500

GDD-J600

GDQ-J100A

GDQ-J200

GDQ-J300

GDQ-J400

GDQ-J500

GDQ-J600

GDQ-J800

GDQ-J800

GDQ-J1000

GDQ-J1200

前級泵

2XZ4B

2X-15

2X-30

2X-70

2X-70

2X-70

2X-70 2臺

2X-150 2臺

2X-150 2臺

2X-150 2臺

進氣口直徑 DN

100

200

300

400

500

600

800

800

1000

1000

D1

145

250

350

465

580

670

880

880

1090

1310

n-Φ1

4-φ12

8-φ12

8-φ14

8-φ18

16-φ14

12-φ21

20-φ21

20-φ21

24-φ23

28-φ25

中心高尺寸

～600

～940

～1160

～1500

～1700

～2030

～2280

～2318

～2915

～3582